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虽说是真空度测定，但也有接近大气压的地方，也有真空，非常一种真空计无法覆盖。即使考虑到残留气体的成分，真空装置内的气体也是各种各样的。其中对真空计产生不良影响的代表性的是油蒸气等有机物蒸气、氧、水蒸气等。在低真空中，空气残留的情况也很多，但是在中真空和高真空中，油蒸气的比例会增加。另外，像冷冻干燥这样主要处理水蒸气的真空装置也不少。